化合物半导体
衬底及外延片材料特性测试
PL荧光光谱仪/电致发光

光致发光谱测试系统(PL)

  • 产品型号：YWafer RD8-CP
  • 制造原厂：YSystems (Japan)

用于化合物半导体行外延片的光激发光谱测试设备,可测试多种不同结构，包括：VCSEL、HB-LED、DUV-LED、LD、HEMT等。

  • 宽光谱范围（可达200~2150 nm）的自动测量，同时配备多个光栅和探测器


  • 多波长激光作为激发光源


  • 适用于所有尺寸、研发和特殊用途的定制晶圆托盘

联络我们索取资料
返回列表