電漿輔助化學氣相沉積系統

  • 產品型號:VDS-5800 Series
  • 制造原廠:JAPAN PRODUCTION & ENGINEERING LABORATORIES INC.

專供複合半導體GaN&GaAs使用之自動化量產型電漿輔助化學氣相沉積系統, 佔地面積小, 高產出, 低維修成本. 超過40年經驗的設備製造經驗

  • 4" x 12 片/Batch, 

  • 6" x 8 片/Batch, 

  • 2" x 42片/Batch. 

  • x1000 Batches System Up time 98.07%