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高測試速度及穩定性
高精度dual config測量方式，具備自我測試功能
適合測量太陽能矽片擴散層,相容厚度為100µm ~ 5 mm
X-Y軸可程式設計多點測試，位移解析度0.1um,2-D/3-D測量資料圖譜
樣品尺寸:
最大可支援156 x 156 mm
測量範圍：
1m ohm/sq ~ 10,000k (10M )ohm/sq
