表面缺陷宏觀檢測系統

  • 產品型號:Stealth
  • 制造原廠:TOHO Electronics Inc.

可測量膜厚均勻性,微棱鏡均勻性,及PSS高度均勻性,也可以測的一些尺寸較大的異物,以及刮傷等不良處    


  • 可採用紅,藍,及白光

  • 支援SEMI 150-300mm晶圓,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm晶片

  • 最小可檢測顆粒大小28um