高精度AFM,樣品移動台:300×300mm 大行程二維電動樣品移動台,快速選擇感興趣的樣品區域,載物台:直徑300mm 帶真空吸附功能的超大樣品載物台,掃描器:100×100um 大範圍高精度閉環平移式壓電掃描器,標準光柵定標精度
AFM 掃描範圍:100um×100um×10um
AFM 掃描解析度:XY 向0.2nm,Z 向0.05nm
AFM 掃描速率:0.6Hz~4.34Hz
AFM 掃描角度:0~360°
樣品尺寸:Φ≤300mm,H≤20mm
樣品台移動範圍:300mm×300mm
Profile 線測量長度:1mm