用于高强度Stepper的紫外光和强度能量计 - ASML，尼康，佳能和Ultratech
该仪器设计用于ASML高强度，佳能，尼康和Ultratech高强度晶圆Stepper。基于微处理器的Model 358紫外光强度和能量计能够测量，存储和回收九组读数。读取365,400,420和436 nm波长的强度，能量和时间（4000 mW /cm²，999.9 mJ /cm²）。
光刻UV光强度和能量计
型号 | 317 | 356 | 357/457 | 358/458 | 459 | |
强度范围（mw / cm2） | 16-1600 | 0.1-400 | 16-1600 | 40-4000 | 强至6000 | |
能量范围（mJ / cm2） | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | |
时间范围（秒） | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | 0-9999 | |
波长（nm） （可用其他波长） | 310, 365 380, 400, 436 | 220, 254 260, 310, 365, 380, 400, 420, 436, 540 | 365, 400 420, 436 | 365, 400 420, 436 | 365, 400 420, 436 | |
准确性 | ± 3 | ± 3 | ±3.0（WB） ±1.5（NB） | ±3.0（WB） ±1.5（NB） | ±3.0 | |
线性（％） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | |
可用于： | 掩膜光刻机 | 所有掩膜光刻机 | 标准ASML，Nikon GCA，Canon，Rudolph Technology Stepper | 高强度Stepper |
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计算值 | 可计算平均能量;最多9个通道的能量，强度和时间偏差百分比
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I/O | 有打印，通道选择，启用，探针和波长检查 | |||||
电源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，可充电6伏电池（自动关闭） | |||||
体积 | （厘米）30.5 宽×12.7 高×22.9 深（英寸）12.0 宽×5.0 高×9.0 深 | |||||
重量 | 大约3.6 kg (8.0 lbs) | |||||
