UV 紫外光强计

用于高强度Stepper的紫外光和强度能量计 - ASML，尼康，佳能和Ultratech

该仪器设计用于ASML高强度，佳能，尼康和Ultratech高强度晶圆Stepper。基于微处理器的Model 358紫外光强度和能量计能够测量，存储和回收九组读数。读取365,400,420和436 nm波长的强度，能量和时间（4000 mW /cm²，999.9 mJ /cm²）。

o nuv响应曲线图像

应用
适用于需要精确测量UV能量的各种行业，358型适用于需要可重复，可靠的UV测量的任何应用。

特征

光刻UV光强度和能量计

型号	317	356	357/457	358/458		459
强度范围（mw / cm2）	16-1600	0.1-400	16-1600	40-4000	强至6000
能量范围（mJ / cm2）	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999
时间范围（秒）	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999
波长（nm）（可用其他波长）	310, 365 380, 400, 436	220, 254 260, 310, 365, 380, 400, 420, 436, 540	365, 400 420, 436	365, 400 420, 436	365, 400 420, 436
准确性	± 3	± 3	±3.0（WB） ±1.5（NB）	±3.0（WB） ±1.5（NB）	±3.0
线性（％）	2	2	2	2	2
可用于：	掩膜光刻机	所有掩膜光刻机	标准ASML，Nikon GCA，Canon，Rudolph Technology Stepper	高强度Stepper	极高强度的Ultratech Stepper
计算值	可计算平均能量;最多9个通道的能量，强度和时间偏差百分比
I/O	有打印，通道选择，启用，探针和波长检查
电源	110/220 VAC，50/60 Hz，可充电6伏电池（自动关闭）
体积	（厘米）30.5 宽×12.7 高×22.9 深（英寸）12.0 宽×5.0 高×9.0 深
重量	大约3.6 kg (8.0 lbs)

Model 358