应用：半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、纳米银线等)
导电薄膜(金属、ITO等)，扩散层，硅相关外延材料，离子注入样品。
有多点测量功能(最大1225点)，支持Mapping功能，提供2D图/3D图像分析。
金属膜厚换算功能。
测试数据可通过CSV格式文件导出。
符合以下ASTM & JIS的要求。
JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994
< ASTM >
ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)
ASTM f374 -00a
ASTM F 390-11
ASTM F 1529-97
样品尺寸：
支持最大8寸，或156x156mm
测量范围：
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm
