化合物半导体

衬底及外延片材料特性测试

外延层厚度测量

半导体专用傅立叶变换红外光谱仪

产品型号：QS1200
制造原厂：Onto Innovation Inc.（原Nanometrics Inc.）

Nanometrics推出QS1200台式系统，用于半导体材料内部含量检测,同质外延厚度测量和其他应用。

QS1200设计用于半导体工厂，可测试硅,碳化硅等外延片和器件的特性。

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