FilmTek™3000组合反射透射分光亮度计能够对沉积在透明基底上的未图案化薄膜进行高效，准确的透射和反射测量。它非常适合测量非常薄的吸收膜的厚度和光学常数。
| 技术规格 | |
|---|---|
| 薄膜厚度范围： | 3nm至150μm |
| 薄膜厚度准确度： | NIST可溯源标准氧化物1000Å至1μm为±1.5Å |
| 光谱范围： | 220nm至1700nm（标准为240nm至1000nm） |
| 测量点大小： | 3毫米 |
| 样本量： | 2mm至500mm（150mm为标准尺寸，根据要求可提供更大尺寸） |
| 光谱分辨率： | 0.3-2nm |
| 光源： | 受控氘卤素灯（寿命2,000小时） |
| 检测器类型： | 2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR） |
| 电脑： | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 |
| 测量时间： | 每个部位<1秒（例如氧化膜） |
| 性能规格 | |||
|---|---|---|---|
| 电影（S） | 厚度 | 测量参数 | 精度（1σ） |
| 氧化物/硅 | 200-500Å | t | 0.5Å |
| 500-10,000Å | t | 0.25Å | |
| 1000Å | t，n | 0.25 / 0.001 | |
| 氮化物/硅 | 200-10,000Å | t | 0.5Å |
| 光刻胶/硅 | 200-10,000Å | t | 0.5Å |
| a-Si /氧化物/ Si | 2 00-10,000Å | t | 0.5Å |
