采用光谱反射法,利用内置光源产生380nm-1000nm的光并利用光栅进行分光后,通过光纤出光端的透镜,将其聚焦,形成1mm直径的光束,垂直照射在被测样品,利用CCD探测器获取反射光谱和透射光谱,并据此计算薄膜厚度
特色：
多功能：FilmTek™1000结合了SCI的广义材料模型和先进的全局优化算法，可同时测定：
- 多层厚度
- 折射率[n（λ）]
- 消光（吸收）系数[k（λ）]
低成本：FilmTek™1000的拥有成本仅为可比的一小部分仪器
无需特殊知识：FilmTek™1000软件的设计使得在个人电脑，薄膜光学设计或测量技术方面的最低经验是必需的
完整的“转钥匙”系统：完全集成的分光光度计测量
非接触式和非破坏性
光谱范围 380nm – 1000nm
选配 上至1700nm 或者 下至240nm
光谱解析度 0.3-2nm
全波段测试反射率 有,可得到数百个不同波长的反射
反射率测试重复性 0.01%, @600nm
折射率测试 有
测试光斑大小 2 mm
选配 24um 或60um,型号FilmTek 1000M
光源 钨卤素灯,寿命最高10000小
反射率最强测试功能 有,系统自动判断最强放射率并进行测试
薄膜厚度测试范围 10nm-150um
测试距离(厚底材测试能力) 专用光学镜头设计,针对厚膜和较厚底材,可以直接兼容,膜厚测试最高还可扩展到350um
厚度测试精度 ±2Å for NIST traceable standard oxide 1000Å
可测试薄膜层数 确保3层及以下,最高可达6-8层
反射率测试 有
反射率测试重复性 0.01%, @600nm
折射率测试 有
平台 标配:全固态平台,最大兼容到8inch,
可选配-软件控制多点移动并绘制多点图谱
