FilmTek™1000系列是用于常规测量薄膜厚度和折射率的精确且经济实惠的解决方案。它将光纤分光亮度计与直观的高性能材料建模软件相结合，使日常测量任务可靠简单。此外, FilmTek™1000M配置具有小的光斑尺寸，并配备手动或可选自动XY工作台，以适应75-300mm晶圆尺寸。
| FilmTek™1000 / 1000M / 1500技术规格 | |
|---|---|
| 薄膜厚度范围： | 10nm-350μm（10nm-150μm标准） |
| 薄膜厚度准确度： | NIST可溯源标准氧化物1000Å至1μm±2Å |
| 光谱范围： | 在380nm-950NM |
| FilmTek™1000/1500测量点尺寸： | 2mm至5mm（5mm标准） |
| FilmTek™1000M测量光斑尺寸： | 60μm（4x物镜）或24μm（10x物镜） |
| 样本量： | 2mm至300mm |
| 光谱分辨率： | 为0.3nm |
| FilmTek™1000/1500光源： | 稳定的卤素灯（寿命为10,000小时） |
| FilmTek™1000M光源： | 稳定的卤素灯（使用寿命为2000小时） |
| 检测器类型： | 2048像素索尼线性CCD阵列 |
| 电脑： | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 |
| 测量时间： | 每个部位<1秒（例如氧化膜） |
| 性能规格 | |||
|---|---|---|---|
| 薄膜（S） | 厚度 | 测量参数 | 精度（1σ） |
| 氧化物/硅 | 100-1000nm | t | 0.05纳米 |
| 1-150微米 | t | 0.005％Å | |
