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日本Toho公司制造的ECVPRO,源自美国Nanometrics,前身是英国Accent公司,最早名为Bio-Rad公司的ECVPRO机台.在此行业已经有30年的经验.
ECVpro+使用全自动电化学CV测量方法，采用电解液刻蚀被测的半导体材料,得到不同深度的载流子浓度等参数。
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