全自动非接触电阻值测量系统

  • 产品型号:NC-60F / RS-1300N
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-60F/RS-1300是由日本Napson公司推出的全自动液晶面板涡电流非接触式面电阻测试仪。它通过机械手的方式进行传输玻璃,运用电脑控制机台对玻璃基板上多点的面电阻测量,并可提供2D/3D Mapping图,运用非接触式的涡电流测量技术,具备良好的测试精度及重复性。

  • 全球平板显示器行业针对非接触式测量ITO和金属薄膜的标准机台

  • 测量探头可在X-Y及Z轴全自动移动

  • 可兼容机械手实现自动上下片

  • 可集成其他多功能量测部件(如膜厚测量等)

  • 可增加四探针测量模块:RT-3000    


  • 样品尺寸:
    支持最大2,880 x 3,080mm

  • 测量范围:
    面电阻:
    <1. ITO薄膜>  5~800 Ω/sq
    <2. 金属薄膜> 10m ~ 10 Ω/sq
    [ITO薄膜厚度] 20 nm (200A)~500 nm (5,000A)