半导体
平板显示制造
电阻率/膜厚测量

平板显示器行业标准全自动四探针面电阻测量系统

  • 产品型号：RT-3000 / RG-1000F
  • 制造原厂：Napson Corp.

RT-3000/RG-1000F是由日本Napson公司推出的全自动液晶面板四探针法面电阻测试仪。它通过机械手的方式进行传输玻璃，运用计算机控制机台对玻璃基板上多点的面电阻测量，并可提供2D/3D Mapping图，并具备非常好的测试精度及重复性。

  • 样品尺寸：
    最大可以支持到 1,500mm ｘ 1,850mm

  • 测量范围：
    1. RT-3000(S);
    面电阻: 1m~10M Ω/sq
    2. RT-3000(H);
    面电阻: 10m~1GΩ/sq    


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