在10秒时测试的低漏电流
-漏电流<5fA/V 从-65℃ 至 75℃
-漏电流<10fA/V 从75℃ 至 100℃
-漏电流<50fA/V 从100℃ 至 150℃
-漏电流<300fA/V 从150℃ 至 200℃
-45E接口可使VC探针卡与标准4.5"支架兼容
-408E接口可使VC20探针卡与Agilent 408x测试仪兼容
-每卡多达48个单层探针
-标准X-Y精度为电极尺寸的10%
-标准Z精度+/- 5微米
最大的通道数:48
测试平台:Keysight 4062,4072,4080,Keithley S600,S530
最小Pad尺寸:30umx30um（滑动距离可调）
接触电阻:小于1欧姆
温度范围:- 65℃至200℃
漏电:每伏电压少于5fA
可维修的
使用寿命:生产型客户在铝和铜pad上有超过1千万次的点触。因磨损而需要换针的频率很低。
