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WS-3000是由日本Napson公司推出的全自动四探针电阻率量测设备。它可以支援FOUP/SMIF等上下料方式，具备GEM/SECS通信功能，实现半导体工厂全自动测试的需求。可以支援多点量测，输出2D/3D Mapping图等自动化功能。
样品尺寸：300mm(可选具备200mm)
测量范围：方阻: 1m~10M Ω/sq (可选配达到最大 1G Ω/sq)
重复性：CV≤ 0.17%
