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NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动涡电流非接触式电阻率测量设备。它可以通过计算机进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位数量,运用涡电流非接触式的量测原理进行测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。
样品尺寸:基于所选择的平台而定圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm