RT-70V是由日本Napson公司推出的桌上型手动四探针电阻率量测设备。它运用四探针电阻率量针对半导体及其他导电材料进行测量,同时根据各种不同的需要,配备了多款不同的测试平台以便供客户选择。
整套测量系统由测量主机RT-70V和不用应用的平台组成
测量主机为RT-70V
通过旋钮调整输入样品厚度
主机带自我测试功能,及自动切换测量档位功能
应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)
导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品。
<测试平台>
可根据实际测量应用从下列平台中选择
(1) RG-7C: 自动测量,探头上下移动
(2) RG-7S: 测量大尺寸样品,手动移动探头位置,探头自动上下移动
(3) TS-7D: 手持式测量探头
样品尺寸:
基于所选择的平台而定
圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm