化合物半导体
衬底及外延片材料特性测试
深能级瞬态谱测试

深能级瞬态谱仪(DLTS)

  • 产品型号：FT1230
  • 制造原厂：PhysTech GmbH

  • 多种DLTS功能,包括C-DLTS (电容DLTS),CC-DLTS(恒定电容DLTS,带有CC组件),I-DLTS(电流DLTS ),Q-DLTS(电荷DLTS),ITS(等温瞬态(C或I)谱),PICS(光致瞬态(C或I)谱

  • 软件内置使用28个耦合函数,只需要一次温度扫描,即可采用多种模式分析曲线

  • 软件可设定10种以上测量参数 (偏压、脉冲电压/宽度/模式等) 


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