集成电路工艺

电阻率/PN性/少子寿命

非接触多点面电阻测量系统

产品型号：NC-80MAP
制造原厂：Napson Corp.

NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动涡电流非接触式电阻率测量设备。它可以通过计算机进行控制，编辑测试需要测试的硅片大小，测试点位数量，运用涡电流非接触式的量测原理进行测量，可以通过软件输出2D/3D Mapping图，更高效的完成测量任务。

面电阻测试范围：0.005 ~ 3000 Ω/sq
探头类型

- 超低：0.005 ~ 0.01 Ω/sq

- 低：0.01 ~ 0.5 Ω/sq

- 中：0.5 ~ 10 Ω/sq

- 高：10 ~ 3000 Ω/sq

探头直径：14mm
探头间隙：1.7mm ~ 2mm

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