非接触式电阻值/电阻率测量仪

  • 产品型号:NC-10
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-10是由日本Napson公司推出的手动版涡电流非接触式量测设备。它通过手动上片的方式,进行中心固定一点的量测,平台可根据样品大小进行设计定制,具备较高的测量精度和重复性。


  • 通过电脑进行控制及数据处理

  • 利用涡电流原理实现非破坏性测

  • 针对半导体硅片可提供温度补偿功能    

  • 应用:半导体材料, 外延及离子注入材料, 太阳能电池材料, 导电薄膜, 化合物半导体, 新型材料等


  • 样品尺寸:
    支持3~8寸,或156x156mm
    (可选配2~12寸,210x210mm的平台)

  • 测量范围:
    电阻率: 1m ~ 200 Ω・cm
    面电阻: 10m~3000 Ω/sq

  • 该测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖:

    低:0.01 - -0.5 Ω/sq(0.001 - -0.05 Ω.cm)

    中:0.5 -10 Ω/sq(0.05 -0.5Ω.cm)

    高:10 - 1000 Ω/sq(0.5 - 60 Ωcm)

    超高:1000 - 3000 Ω/sq(60 - 200 Ω.cm)