EC-80P是由日本Napson公司推出的手持式涡电流非接触式量测设备。通过手握探头,选择样品上需要测试的位置进行量测即可,非常适合针对大尺寸样品进行量测,同时也具备良好的测试精度及重复性。
探头接触样品即自动开始测量
可通过JOG旋钮快速设定测量条件
5种测量范围探头可根据样品电阻率进行更换
可选配P/N型判定量测功能
应用:硅片样品, 化合物半导体, 外延层, 扩散层, 碳化硅, 薄膜材料, 金属膜, ITO, IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料
样品尺寸: 可测量任意尺寸和形状的样品
探头类型 测量范围
低:0.01 - -0.5ohm/sq(0.001 - -0.05 ohm.cm)
中:0.5 -10ohm/sq(0.05 -0.5 ohm.cm)
高:10 - 1000ohm/sq(0.5-60 ohm.cm)
超级高:1000 - 3000ohm/sq(60 - 180 ohm.cm)
太阳能晶片:5 - 500ohm/sq(0.2-15 ohm.cm)