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Cresbox是由日本Napson公司推出的桌上型半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过计算机进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位,运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。
样品尺寸:
支持最大8寸,或156x156mm
测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm