半自动四点探针Mapping测试仪

  • 产品型号:Cresbox
  • 制造原厂:Napson Corp.

特点

Cresbox是由日本Napson公司推出的桌上型半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位,运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。


  • 用户可编程的测量模式和可编程的测量模式

  • 测试仪自检功能,测量范围宽

  • 硅片的厚度,边缘和温度校正

  • 薄膜电阻的薄膜厚度转换功能


  • 应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、纳米银线等)

                  导电薄膜(金属、ITO等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品。

  • 有多点测量功能(最大1225点),支持Mapping功能,提供2D图/3D图像分析。

  • 金属膜厚换算功能。

  • 测试数据可通过CSV格式文件导出。

  • 符合以下ASTM & JIS的要求

        JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。

        < ASTM > 

        ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)

        ASTM f374 -00a,

        ASTM F 390-11,

        ASTM F 1529-97


  • 样品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 测量范围:
    V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
    方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

    电阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm 

Image of Mapping

  • Semi-automatic type Multi point measurement
  • Semi-automatic type Multi point measurement
  • Semi-automatic type Multi point measurement
  • Semi-automatic type Multi point measurement