Cresbox是由日本Napson公司推出的桌上型半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位,运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。
用户可编程的测量模式和可编程的测量模式
测试仪自检功能,测量范围宽
硅片的厚度,边缘和温度校正
薄膜电阻的薄膜厚度转换功能
应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、纳米银线等)
导电薄膜(金属、ITO等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品。
有多点测量功能(最大1225点),支持Mapping功能,提供2D图/3D图像分析。
金属膜厚换算功能。
测试数据可通过CSV格式文件导出。
符合以下ASTM & JIS的要求
JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。
< ASTM >
ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)
ASTM f374 -00a,
ASTM F 390-11,
ASTM F 1529-97
样品尺寸:
支持最大8寸,或156x156mm
测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm