极速光致发光快速图谱仪

  • 产品型号:Imperia
  • 制造原厂:Onto Innovation Inc.(原Nanometrics Inc.)

凭借其独特的光学设计技术,新一代PL mapping测试仪, Model Imperia能够以更高的速度检测光致发光谱作为产品监控。

通过更准确的预测MOCVD的生长品质,获得显著的成本降低。

测试监控功能的合并入单一高产能测试系统,可以最大限度地减少宝贵的工厂空间使用和晶圆取放片时间。



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