针对功率型DIODE、MOSFFET、IGBT等组件的晶圆测试
PEGASUS FAPG150D是一台双面自动化探针结构的探针台，手臂自动取晶圆至预对准器调平及点测位置测试，全圆式夹片盘可提供稳定且快速的测试环境，针对不同应用设定最佳的点测速度与针痕，并可因客户需求提供客制化的设计。
性能特点
中文Windows操作接口，操作简易
可建立不同产品配置文件
CCD Wafer自动调平及寻找起测晶粒
模块化电控结构，易于维修
高精密马达驱动，提供安静的运行环境
可同时放置2组cassette
预对准器校正wafer
TTL/RS232通讯方式，可搭配各厂测试机
优越的点测速度与极佳的探针针痕
可因客户需求进行客制化设计
可支持6”和4”夹片盘
简易操作平台及游戏杆设计
X/Y轴
架构 : 高精度循环式滚珠螺杆
行程：285mm × 250mm
解析度：0.5 μm
精度：≦± 4 μm /203mm
重复性：≦± 4 μm /203mm
夹臂
行程：20mm
解析度：1 μm
精度：≦±2 μm
重复性：≦±4 μm
夹片盘
材质 : 聚醚醚酮 Peek
夹片尺寸 :可支持6”or 4”
平台
打墨器 : 1组
抗干扰铝壳接线盒 : 1组
测试时间
显微镜
数位显微镜
内建LED光源
倍率: X20 ~ X90
外观尺寸
1020(D) × 1360(W) × 1465(H) mm (不含屏幕，信号灯)
重量
490Kg(不含测试机)
真空
4-6Kgf/cm²
气压
0.5MPa
点测平台
