平板显示制造

Intevac Vertex Marathon™ 硅基OLED多层薄膜PVD设备

产品型号：Vertex Marathon™
制造原厂：Intevac

Vertex Marathon™ 是 Vertex 系列的最新一代产品，具有高产能，专为大批量制造而设计，用于处理 200mm 和 300mm 衬底样品，具有独特的工艺能力和专利应用，特别适用于不同的金属膜和ITO涂层。

• 可支持EFEM功能。

• 产能可达到50WPH

• 样品基板取放简单

• 具备优良的基板沉积的准确性和重复性

• 无需打破真空即可在各种材料堆叠选项中进行多层沉积

• 采用ICP技术

• 具备线性脉冲直流磁控溅射技术

• 具备圆柱形旋转脉冲直流磁控溅射

(CMAG)技术

• 具备线性扫描磁阵列(LSMA)技术