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Vertex Marathon™ 是 Vertex 系列的最新一代产品，具有高产能，专为大批量制造而设计，用于处理 200mm 和 300mm 衬底样品，具有独特的工艺能力和专利应用，特别适用于不同的金属膜和ITO涂层。
• 样品基板取放简单• 选件支持包含FOUPS和机械手的EFEM• 高精度的样品基板定位，且重复性高• 无需打开真空腔体下的多层不同材料的沉积• 采用ICP技术的蚀刻• 具备圆柱形旋转脉冲直流磁控溅射(CMAG)技术• 高产能，低运营成本
