Intevac MATRIX® 太阳能电池片物理气相沉积设备

  • 产品型号:Intevac MATRIX™
  • 制造原厂:Intevac

Intevac 的 MATRIX™ PVD 系统可拥有拓展 技术,还可支持生产先进太阳能电池所需的薄膜。通过MATRIX™ PVD 系统为光伏电池制造商们在薄膜沉积工艺上提供更强的竞争力。

沉积薄膜类型Al, Ti, NiV, TiW, Cu, TCO, ITO。

· 应用包括IBC、Cu Seed、HJT和PERL/T等工艺路线

· 拥有能够为异质结技术调整ITO/TCO薄膜折射率的技术

· 可集成铝背金属和覆膜的能力

· 适合650mm x 650mm衬板小批量多层制程