ENERGi - 产线化离子植入设备, 适合双面型, n-TOPCON, IBC and PERC (可选择不同的放电针) 电池片工艺
ENERGi的应用：
• n型和p型平面均匀掺杂.
• n型和p型图案化掺杂.
• 优于其它技术的硼离子植入
· 可在连续离子源流动情况下完成单次工艺
· 可通过光束的快速调整来控制掺杂分布
· 可提供极佳的均匀性和分布控制能力
· 也可提供硼、磷注入能力
· 最大可支持166mm方型衬底，大尺寸晶圆可轻易兼容
· ENERGi 以被验证可实现电池片效率提升>1%
· 行业领先的产能-每小时3000片
· 行业领先的设备运行时间-> 90%
· 较低的运营成本
