Intevac Vertex™系统实现了模块化设计概念,允许在单一系统中处理各种光学薄膜。 Vertex公司生产的涂层之一是一种专利的、透明的、耐磨损的显示玻璃涂层。 Intevac对Vertex PVD系统进行了优化,用于智能手机、平板电脑、可穿戴电子产品和汽车信息娱乐系统等消费移动电子产品的涂层。 该设备适合研发线和试验线。
• DiamondClad™ - Intevac提供类似蓝宝石涂层(DLC)的抗划伤性能,高 sp3 % 和 ta-C,实现超强抗划伤,硬度及防环境腐蚀。
• 垂直溅射
• 半自动操作
• 小基板加工
• 模块化平台设计
• 最大可支持衬底尺寸为330mm x 250