高精度半自动四探针电阻率测试仪

  • 产品型号:RT-3000/RG-2000(3000)
  • 制造原厂:Napson Corp.

RT-3000/RG-2000(3000)是由日本Napson公司推出的高精度半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位,运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。


用户可编程的测量模式


测试仪拥有自检功能,测量范围宽


以及硅片的厚度,边缘和温度校正


金属薄膜厚度转换等功能




应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、纳米银线等)

导电薄膜(金属、ITO等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品。

有多点测量功能(最大1225点),支持Mapping功能,提供2D图/3D图像分析。


测试数据可通过CSV格式文件导出。


符合以下ASTM & JIS的要求 JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。


        < ASTM > 


        ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)


        ASTM f374 -00a,


        ASTM F 390-11,


        ASTM F 1529-97


样品尺寸:

RT-3000/RG-2000支持最大8寸

RT-3000/RG-3000支持最大12寸


测量范围:

V/I 电阻: 1m ~ 3M ohm

方阻: 1m ~ 10M ohm/sq

电阻率: 1μ ~ 1M ohm.cm