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RT-3000/RG-2000(3000)是由日本Napson公司推出的高精度半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过计算机进行控制，编辑测试需要测试的硅片大小，测试点位，运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量，可以通过软件输出2D/3D Mapping图，更高效的完成测量任务。
样品尺寸：
RT-3000/RG-2000支持最大8寸
RT-3000/RG-3000支持最大12寸
测量范围：
V/I 电阻: 1m ~ 3M ohm
方阻: 1m ~ 10M ohm/sq
电阻率: 1μ ~ 1M ohm.cm
