量测设备

半自动四探针面电阻测试仪

产品型号：RG-200PV
制造原厂：Napson Corp.

RT-3000/RG-2000(3000)是由日本Napson公司推出的高精度半自动四探针电阻率量测设备。它可以通过电脑进行控制，编辑测试需要测试的硅片大小，测试点位，运用四探针电阻率量测的原理进行多点测量，可以通过软件输出2D/3D Mapping图，更高效的完成测量任务。

样品尺寸：

RT-3000/RG-2000支持最大8寸

RT-3000/RG-3000支持最大12寸

测量范围：

V/I 电阻: 1m ~ 3M ohm

方阻: 1m ~ 10M ohm/sq

电阻率: 1μ ~ 1M ohm.cm

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