pegasus A200 系列晶圆探针台通过专有的 labmaster™控制和监控软件提供菜单驱动的按钮控制。广泛的控制和监测参数使用户能够以最佳性能操作 pegasus A200 系列晶圆探振泰 包括: 实时监控和测试设置，高级mapping能力,图像分析,和许多其他高级功能。
pegasus A200 系列晶圆探针台实现两端平行处理晶圆定位和晶圆取片, 以实现最大的效能。pegasus A200 专为在手动装载和卸载晶圆时易于访问而设计, 可容纳两个载盒, 每个载盒包含25个晶圆片。pegasus A200 晶圆探针台具有高度先进的单片晶圆检测预对准和传输系统, 可确保长期的精度和可重复性。
适用于各种晶圆材料 (如 GaAs，蓝膜盘，陶瓷) 的各种处理能力
功能强大、用户友好的控制和监控软件
模式识别系统
机械手结构处
可配置为超过5千伏的高电压, 适用于特殊应用
可选的温度载片盘
菜单驱动, 按钮控制。
实时监控和测试设置。
所测试的晶圆和批次的良率分析
高级mapping功能
探针直接对位蓝膜上的芯片
探针台
XY 平台
类型 ：高精度滚珠丝杠
平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")
分辨率1.25 微米
精度±7微米超过200mm
重复性±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s
自动对齐重复性±5μm wafer 处理
速度：1270毫米/秒 (r), 254 mm/秒(z), 800 度/秒 (Ø)
定位重复性： 12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)
平整度：可选择
定位精度 ： ±63.5 微米±0.125 度
重复性：±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s
