8“半自动晶圆探针台

  • 产品型号:S200
  • 制造原厂:Wentworth Laboratories

Pegasus™s200 晶圆探针台专为广泛的半导体 (包括半导体、发光二极管 (led) 和微机电系统 (mems) 器件) 的生产探测而设计。它也被强烈推荐用于表征应用, 并设计用于处理 2 "至200mm 的全晶片和部分晶片。pegasu™s200 为特定应用提供可调节的快速探测。探头可以使用悬臂式探头卡或使用 pegash™探头集成晶圆边缘/高度传感器进行。pegasus ™探针是一种完全可调的手动探针座, 内置高度检测、边缘感应、快速更换探针和可调节的压力设定。此外, 各种标准和定制的载盘可用于各种应用。

  • 探针移动速度可达 100mm/秒

  • TTL、以太网 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通讯模式

  • 轻松集成CCD和其他外部测试设备组件

  • 使用 pegasu™远程命令的远程控制

  • 使用 pegasus™探头进行有源晶片分析

  • 半自动两点晶圆对齐, 减少设置时间                            

  • 双面探针模式可支付200mm 晶圆

  • 独特的探针臂和探针头设计和悬臂式探针卡

  • 可调节晶圆尺寸载片台

  • 探针压力可调及和速度可调

载片平台

x-y 平台

高精度滚珠丝杠和步进电机

  • 行程 210x210 毫米

  • 分辨率 1.25 微米

  • 重复 ±4.0 微米

  • 精度 ±7.0 微米

  • 平整度 8μm

  • 最大速度 100mm/秒

z 平台

精密滚珠丝杠和步进电机

  • 行程 11毫米

  • 分辨率 1微米

  • 重复 ±1.0μm

  • theta 平台

  • 行程 ±8.0°

  • 分辨率 0.000°

探针平台

  • 驱动类型 手动

  • z 行程 11.5 毫米

  • 材料 镀镍钢

图形用户界面

  • Windows 7、8.1 和10

通信接口

  • PC TTL, RS232, GPIB IEEE488.2)以太网

动力

  • 供电 100-240 VAC50/60 HZ 自动选择600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)

  • 压缩空气 4帕/分钟

外形尺寸

  • 探针台(不包括光学部分) 572x700x300mm 

  • 控制器 450x480x180mm 

重量

  • 探针台 45公斤

  • 控制器 13千克