Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV探针台非常适合测试功率器件, 并且可以很容易地与各种测试仪器集成。Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV 平台提供了一种灵活的晶圆自动测试解决方案, 专注于大功率半导体特性. Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV 高功率配置以低接触方式解决了当今的功率半导体测试挑战电阻测量需要在高电压下进行精确测量。 高电流探头和探针卡 (高达 100A) 处理和分配过大的电流负载。专用的HV & HC 探头可减少高电压电流下的探头和设备破坏, 以防止设备在尖端产生打火现象。
直流和脉冲的大电流探针
开尔文式测量 (源和载片台)
低电阻背面接触 (德莱德克)
可处理薄片晶圆
低漏电/高压
高电流/高压测量下的安全性
电压: 3kv (三˙轴), 10kv (同轴)电流: 200 A (脉冲)
漏电: < 1A(3kv)
高电压-温度开尔文式载片台规格
温度稳定性±0,1°C
温度精度±0,5°C
绝缘性 > 0.5 tohm @ + 25°C
电容: 1600pf (标准) 200 f F(三轴)
最大电压: 10kv @ 载片台
漏电: < 1A (3kv)
高压探针漏电与温度关系
+ 25°C < 200 pA
+ 200°C < 200 pA
探针台
精密滚珠丝杠和步进电机
旅行 210mx314mm
分辨率 0.312 微米
重复 ±4.0 微米
精度 ±5.0 微米
平整度 8μm
最大速度 100mm/sec
z 平台
精密滚珠丝杠和步进电机
行程 11毫米
分辨率 0．156 微米
重复 ±1.0μm
theta
行程 ±8.0°
分辨率 0.0001°
可编程显微镜
步进电机
行程 50毫米 x50 毫米 x100 毫米
分辨率 0.15 微米米
重复 ±1.0μm±1.0μm
精度 ±2.5μm±2.5 微米
探针平台
驱动类型 步进电机
z 平台 18毫米
材料 镀镍钢镀钢
图形用户界面
WINDOWS7、8.1 和10
通信接口
PC TTL RS232,GPIB (IEEE488.2)以太网
厂务
供电 100-240 VAC 50/60 hz 选择600VA
真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)
压缩空气 4帕/分钟
外形尺寸
探针台(不包括光学) 840x842x610mm
控制器 450x480x180mm
屏蔽
光屏蔽 > 120 分贝
电磁屏蔽 > 20 分贝 0.5-0.5 ghz, 30 d0.5-3ghz
重量
探针台 131公斤
