集成电路工艺

表面缺陷分析

快速自动宏观检测仪

产品型号：nSpec Macro
制造原厂：Nanotronics Imaging LLC

nSpec® Macro能根据视场或晶圆尺寸自动检测和量化50至100微米的缺陷。nSpec® Macro允许照亮整个样品的大小，可以编程控制照明角度和/或照明向量。亮场、暗场、正交和可配置的斜向照明角度与单独可修改的led配对，调整亮度、颜色和照明位置。

特点

•暗场照明模式

•光照角度:0度

•斜照明模式

•照明角度:0到80度

•明场照明模式

•照明角度:90度

•正交照明模式

•照明角度:90度(透过镜头)

联络我们索取资料