美国Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系统,依托高品质半导体工业专用显微镜,配备高精密移动样品台,高倍率长距离明暗场聚焦物镜系统,辅以高清晰CCD模块,组成了测试的硬件平台,在此基础上,开发了内置AI算法的图像识别系统,可以快速比对识别数千张甚至数万张晶圆表面的图像,在数分钟或数十分钟内即可检测得到所需要的各种缺陷图像,并进行自动分类和识别,形成报表,工程师可以直观的看到所检测得到的缺陷在晶圆的位置,大小,形状等信息。
特点
•高品质工业级显微镜系统
•高精度自动样品台
•高智能图像分析软件
•完美的软硬件结合
•配合不同镜头可实现多区域多缺陷测试
•可测试各种凹坑,突起以及平面缺陷
•可导出全部数据和图像
