超高精密光致发光谱测试系统

  • 产品型号:VerteX
  • 制造原厂:Nanometrics Inc.


  • 基于工业标准的RPM家族基础上的最精密机型,适合研究和量产;

  • 采用最精密的激光功率控制技术,可以实现行业领先的精度,重复性和机台间一致性;

  • 使用Adaptive Power Density Control技术,持续监控激发光的功率和光束直径;

  • 有效避免用于激发光功率的波动,而导致外延结构的PL信号的变化;

  • 基于激发功率一致性,可有效保证多台Vertex系统的测试一致性;

  • 灵活配置设计,可以最多内置4支激光器 --是PL测试仪中最多的型号;

  • 内置光源,用于单色仪校正;

  • 涵盖RPM系列PL测试仪的全部功能;

  • 可以升级到机械手进行自动取放片测试;

  • 针对InGaN基LED,得益于激发功率控制,可以进行PL到EL的一致性检查;

  • 得益于数百台广泛应用的PL设备的使用经验,测试软件可以给用户提供最佳应用体验.




激发功率vs波长

激发功率vs波长.png






  • 数据以R,θ方式收集、存储,并以X,Y坐标轴方式显示

  • 数据和图像可输出至其它形式的软件包

  • 显示比例与颜色可由用户设定或系统默认

  • 全光谱扫描,并对峰值波长、峰值强度、半高宽、积分强度同步收集和显示

  • 可以对芯片上任意一点进行单点光谱显示和存储

  • 每秒可以收集180个点的全光谱或2000个点的强度图谱

  • 用户自定义数据筛选功能

  • 统计数据以数字或柱状图显示

  • 可分析合金成分

  • 可以对系统参数和测量参数自动分段

  • 选择附加功能选项可完成薄膜厚度,布拉格反射体和VCSEL的特性量测