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S200FA是一款針對8”以內晶圓、S300FA是一款針對12”以內晶圓所需IC設計,失效分析,可靠性測試等應用的手動探針台,尤其針對小尺寸晶粒的點測
行程210 mm X 340 mm
行程310 mm X 400 mm
鋁制載片盤表面鍍鎳
手動自動可程式控制顯微鏡移動模組
失效分析用雷射器
封裝後器件夾具
磁力或真空探針座
探針卡夾具
電磁遮罩箱