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TREK 1100TN靜電力顯微鏡可以實現高空間解析度(10μm)的電壓分佈測量。
測量範圍: ±1 kV
測量靈敏度:優於100mV
測量精度: 優於 0.5% (滿量程)
掃描步進: 最小1 μm
探針面積: 5 μm X 5 μm
測量掃描面積: 5 mm X 5 mm