半導體
平板顯示製造
電阻率/膜厚量測

全自動非接觸電阻值測量系統

  • 產品型號：NC-60F / RS-1300N
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 平板顯示器行業標準的非接觸式ITO和金屬薄膜測量

  • 測量探頭X-Y及Z軸全自動移動

  • 可相容機械手實現自動上下片

  • 選件：

  • 可實現多功能集成系統(膜厚測量等）

  • 可增加4探針測量單元:RT-3000
       


  • 樣品尺寸：

  • 支持最大2,880 x 3,080mm

  • 測量範圍：
    [RS]
    <1. ITO薄膜>  5~800 Ω/sq
    <2. 金屬薄膜> 10m ~ 10Ω/sq
    ［ITO薄膜厚度］ 20 nm (200A)～500 nm (5,000A)
       


NAP/NC-60F / RS-1300N
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