半導體
平板顯示製造
電阻率/膜厚量測

平板顯示器行業標準全自動四探針面電阻測量系統

  • 產品型號：RT-3000 / RG-1000F
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 全自動機械手上下料大尺寸平板測量系統

  • 具有自我測試功能，測量點位補償功能，測量範圍廣

  • 最小0.1mm測量解析度，用戶可程式設計測量點位

  • CIM通信方式，2-D/3-D測量資料圖譜

       


  • 樣品尺寸：
    ~2,880 ｘ 3,080mm

  • 測量範圍：
    1. RT-3000/S 型號;
    [RS] 1m~10M Ω/sq
    2. RT-3000/H 型號;
    ［RS] 10m~1GΩ/sq
       


NAP/RT-3000 / RG-1000F
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