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可測量膜厚均勻性,微棱鏡均勻性,及PSS高度均勻性,也可以測的一些尺寸較大的異物,以及刮傷等不良處
可採用紅,藍,及白光
支援SEMI 150-300mm晶圓,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm晶片
最小可檢測顆粒大小28um