基於顯微鏡的桌面系統
在400nm-950nm波長範圍內測量表面法線方向的光譜反射
非接觸式測量，光斑尺寸降至10um
在可見光範圍內顯示靈敏度的薄膜的厚度，n（l），k（l），能帶隙和多層的測量
手動X-Y平臺，帶有6“×6”運動的旋鈕
薄膜厚度範圍：5nm至350μm（5nm至150μm是標準）
薄膜厚度精度：NIST可溯源標準氧化物的±1.5Å1000Å至1μm
CD精度（1σ）：<0.2％
光譜範圍：380nm至1700nm（380nm至1000nm是標準）
測量光斑尺寸：2μm（5×10μm標準，10倍物鏡）
樣品尺寸：2mm至300mm（150mm為標準）
光譜解析度：0.3-2nm
光源：穩定鹵素燈（壽命2,000小時）
檢測器類型：2048圖元索尼線性CCD陣列/ 512圖元冷卻的濱松InGaAs CCD陣列（NIR）
