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型號UltraMap BP2是一套具有APBP(雙探頭自動定位背壓技術)的專利技術的測量系統,測量解析度可達20nm。適用於QA或QC部門對於任何類型,任何形狀,任何厚度範圍的樣品,以及對研發實驗室,研磨後的厚度控制。
樣品尺寸2“至12”(50至300mm)
厚度範圍:20um到5mm
自動校準
適用於所有材料,所有類型的樣品表面