Wentworth M200FA手动分析晶圆探测器可提供高达200mm(8英寸)的晶圆,可提供经济高效的探针台,用于故障分析,器件表征和在线工艺验证。其紧凑的设计和广泛的功能集非常适合各种应用,包括:小型几何探测; 使用高功率光学的应用; 设计调试; 晶圆级可靠性(WLR)和静电放电(ESD)。
M200FA晶圆探测器可配置GuardMaster™,一个有保护的环境室,以适应低水平和低温泄漏测试。M200FA晶圆探测器的控制位置便于位于系统前部,可对8英寸平台进行精细和粗略定位。载片台的Z控制器也位于系统前端,提供可变的Z运动以及对基板探测的精细控制。
M200FA晶圆探测器可轻松设置,定位和调整探针座。M200FA晶圆探测器坚固,稳定的探测平台除机械手外还可接受各种附件,包括标准和定制的载片台; 手动,电动或可编程显微镜支架; 来自领先光学制造商的显微镜,针座组件,抗振动台等。
直流参数
频率: d c > 100mhz
击穿电压: 500v
泄漏: +//10fA -65°C > + 200°C
+/20fA + 200°C > + 400°C
高功率配置
电压: 3kv (三轴), 10kv (同轴)
电流: 200 A (脉冲)
漏电: < 1pA(3kv)
变温载片台:-65c 至 + 400c
XY 平台
X行程: 210mm 手动调节
Y行程: 210mm 手动调节
线性调节规格
粗调 1:1 70um/度
细调 10:1 7um/度
载片台
载片台平整度: 小于10um
theta角: 15度
升降:精细移动250um
细调10:1 7um/度
物理尺寸: 840x842x610mm
重量 131kg
屏蔽
光屏蔽:>120db
电磁干扰屏蔽 >20 db 0.05-20GHz 30db 0.5-30Ghz