電化學CV測試儀是一種定量的載流子濃度縱向測試系統,其採用全自動電化學CV測量方法，使用自動抽取裝置和複雜流體控制技術,將酸堿電解液以精確的數量與被測材料的表面發生化學反應,將其腐蝕掉的材料進入電解溶液中,可以精確量測及分析半導體和太陽能電池材料中,不同深度的載流子濃度等參數,對於半導體材料PN結不同深度的摻雜濃度進行測試,從而可以判斷PN結的結深,不同nm深度的載流子濃度.呈現出半導體材料的內部結構
載流子濃度範圍 1013cm-3 - 1022cm-3(與材料有關)
材料腐蝕深度 0-無限深度
腐蝕解析度 1nm(與材料有關)
載流子頻率 0.3kHz-50kHz
信號增益 0-400mV,峰峰值
偏置電壓 ±10V.
電流積分器 ±2%,最大到1024µA
擊穿電壓 40V,AC
光源 白光源,配備電流控制器,可改變輸出光強
可測材料 Si, SiC, III-V化合物,III-N化合物.II-VI化合物
