光致发光快速图谱仪

  • 产品型号:RPMBlue FS
  • 制造原厂:Nanometrics Inc.


RPMblue / FS旨在为整个波长提供快速,准确,精确和可靠的PL测量。这包括用于GaN FET和UV激光器的高Al含量AlGaN合金/用于通信激光器的LED-NIR以及其间的一切。RPMblue / FS提供超过15种标准激光以及为几乎无限量的光源提供光纤的能力。

研究级300聚焦单色仪可以安装最多三个光栅和两个阵列探测器 -并且一经配置,可以在计算机控制下选择每个光学部件。为确保尽可能高的波长精度,RPMblue / FS包含自己的内置单色仪校准光谱源。

最灵活最有能力

对于大批量应用,RPMblue / FS很容易可升级到机械手晶圆处理。机械手晶圆处理并且全SECS-GEM工厂自动化降低了操作员的工作量到最小,提高测试效率 - 并减少晶圆损坏。该系统可以处理直径达8“的任何晶圆。

通过采用DUV 213 nm发射激光器和专用光学部件,RPMblue / FS准备提供快速并为UV-A / B / C  LED提供准确的PL测量以及AlGaN合金中Al含量高达90%。

内置晶圆载片台配备有温度传感器, 允许对收到温度变化而导致的峰值波长波动进行补偿,特别是对于InP基的通信用激光器件.该系统还可以轻松检测出晶体缺陷和SiC功率器件结晶组分的变化。

RPMblue / FS的灵活配置允许在强大且低维护的框架下进行研发应用以及大多数III-V材料的全自动大批量生产。

标准特性

  • 晶圆尺寸可达8inch或小片

  • 2inch片在2mm空间分辨率下可达80wph产能

  • 可选全自动晶圆取放装置,最多配备3个晶圆盒

  • 快速R-T平台,可以整片扫描或定点测试

  • 科研级300mm聚焦长度单色仪

  • 大范围孔径选择,既可适应高效率光子收集,也可适应超低发光收集

  • 多达4个激光器(2个内部激光器,1个二极管激光器和1个外部激光器)从213纳米到1064纳米的激发波长范围内响应

  • 多达3个光栅用于高分辨率光谱PL映射

  • 多达2个探测器覆盖200 nm至2.6μm

  • 集成的白色光源用于测量厚度和反射率

  • 高速非光谱映射模式@ 2000 pps

  • 高速光谱映射模式@ 200 pps

可选特性

  • 晶圆bow测量

  • Accucolor®真正的LED颜色测定

  • Overview ®MOCVD模拟统计

  • 多个PL峰值统计

  • SECS-GEM工厂自动化


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  • 数据以R,θ方式收集、存储,并以X,Y坐标轴方式显示

  • 数据和图像可输出至其它形式的软件包

  • 显示比例与颜色可由用户设定或系统默认

  • 全光谱扫描,并对峰值波长、峰值强度、半高宽、积分强度同步收集和显示

  • 可以对芯片上任意一点进行单点光谱显示和存储

  • 每秒可以收集180个点的全光谱或2000个点的强度图谱

  • 用户自定义数据筛选功能

  • 统计数据以数字或柱状图显示

  • 可分析合金成分

  • 可以对系统参数和测量参数自动分段

  • 选择附加功能选项可完成薄膜厚度,布拉格反射体和VCSEL的特性量测