QLPC 系列是在线式尘埃粒子计数器,在国产化的大趋势下,上海光机所自主研发光学传感器,在 0.1μm 粒径测试能力上取得了革命性突破,开发的在线式尘埃粒子计数设备具有了追赶国际一线品牌的技术能力与数据对标测试结果,符合 ISO21501-4:2018 标准,主要应用在洁净室环境下的洁净度监控,微粒子计数等功能,并可与 ESD 静电测试设备相连接,结合客户产品 编号有效分析失效情况,提升客户产品良率。
产品具有体积小,重量轻,安装方便,稳定性好,测量精度高等优势,广泛应用于半导体,FPD,电子产品组装,医疗等各个对洁净度有要求的场合。
流量:28.3L/min
粒径通道:0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0um、5.0μm、10.0μm六个通道
粒径分辨率:<15%@0.5μm(符合1S021501-4)
计数效率:50士20%
浓度上限:1,000,000个 / ft³>(即35,000颗/L)
自净时间:≤10min
激光光源:长寿命半导体激光光源
通讯方式:RS-485,网口
真空:内部真空源
电源:DC12V
外壳:316L不锈钢
重量:2.76kg
尺寸:H120*D160*W80mm
工作环境:温度5℃~35℃,湿度0~98%RH(不结露)
储存环境:温度-15℃~60℃,湿度 0-98%RH(不结露)